南京柯立配电子有限公司

                                                                              Zeta三维光学轮廓仪

	ZDOT	ZX5	ZiC	ZSi	ZFT
粗糙度 > 40nm	√
粗糙度 < 40nm			√
大视场、Z方向高分辨率		√
15nm - 25mm台阶高度	√
5nm - 100µm台阶高度		√
< 10nm台阶高度				√
缺陷：尺寸 < 1µm，高度 < 75nm			√	√
缺陷：尺寸 > 1µm，高度 < 75nm				√
30nm < 薄膜厚度 < 15µm					√
薄膜厚度 > 15µm	√

	Zeta-20标配系统	硬件和软件可选项
测试系统	超大深度成像	标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
	标配Z点阵(ZDot)	特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜
	双高亮度LED光源	白光干涉模组（ZX5)：X5物镜，压电陶瓷载台
	真彩色CCD相机(1/3"),1024×768像素	Nomarski模组(ZIC)：棱镜，起偏器，检偏器
	30帧/秒，数据采集	反射光谱膜厚测试模组(ZFT)
	单耦合镜，四种规格可选	白光差分干涉技术(ZSI)：0.5Å分辨率，0.1nm台阶高度测试能力
	5物镜手动转台	高分辨率相机(1/2",1920×1440像素)
	自动聚焦	背光LED
	最大25mm垂直扫描/次(20×，长工作距离)	自动物镜识别/6物镜自动转台
	40mm垂直工作距离(可扩展至100mm)	耦合镜：1×，0.63×，0.5×，0.35×
载台和卡盘	手动XY载台(100mm×100mm)	手动150mm×150mm载台
	高精度Z轴传动	自动100mm×100mm载台
	可配置载物台(开放设计)	压电陶瓷载台（0.2nm步距，100µm传动距离）
		倾斜载台(±20 deg)
		高精度倾斜载台(±6 deg)
		手动旋转载台
		卡盘适用尺寸：2"-8"圆形，5"或6"方形
		硬盘卡盘：65mm-95mm
		适于背光卡盘
		可定制特殊卡盘
软件	非接触测量台阶高度，表面粗糙度，特征尺寸，如直径，面积，体积等	ZMORF先进的数据分析软件
	允许同一视场中存在超低反射率(﹤0.5%)和超高反射率(﹥85%)区域	最大4"晶圆曲翘度测量
	透明/半透明材质测量	膜厚测试光谱仪，可见光(适用于膜厚30nm-10µm)
	透明或半透明多层结构分析	自动图像拼接
	高粗糙度和高深宽比结构分析	自动多点量测
	自由调节水平测量	先进软件分析包
	Ra，Rq，Rz，Rsk，Rk以及其它ISO4287参数	离线分析软件
	Sa，Sq，Sz，Ssk，Sk以及其它ISO25178参数	多种应用Recipe：
	基于颜色和高度的区域筛选分析	PSS量测
	三维成像软件，可进行滤波，真假色切换，缩放，旋转等	金刚线
	定制的报告格式	金刚石研磨垫
	简易文件管理和多格式数据输出	太阳能单晶/多晶绒面
	时间：30秒内/点	太阳能细栅线
		太阳能主栅线
		太阳能电池片曲翘度

    配置要求处理器:  Intel Dual Core操作系统:  Windows 7, 64位内存:  4GB RAM (16GB 推荐),  ≥320 GB HDD显示器:  24-inch LCD, 1920 x 1200     像素振动要求：内置防震适用于大多数应用可选被动和主动防震台可选隔音罩       技术支持质保: 一年(含人工)软件: 两年内免费升级使用手册: 随货附送维修手册: 可选维修培训校准: 权威机构认证台阶高度和膜厚标样片        厂务要求电源:  100  – 230 VAC, 2 A工作温度:  15° – 30° C, 非冷凝真空 (可选):  600 mm Hg设备尺寸(W x D x H): 36 x 48 x 61 cm工作站尺寸: 52 x 66 x 51 cm重量:  29.5 kg